半导体车间——颠覆想象的超级洁净室！

22-10-18 11:03:26 来源:闪德半导体

半导体组件或微细加工的世界，空间单位都是以微米计算，因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路的严重后果。

为此，所有半导体制程设备，都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中，这就是洁净室。

制药车间也是洁净室。

洁净室的洁净等级标准，以class10为例，意谓在单位立方英呎的洁净室空间内，平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。

class后头数字越小，洁净度越佳，造价也越昂贵。

洁净标准8条：

1、内部要保持正气压的环境，以确保粉尘只出不进。所以需要鼓风机，将经过滤网的空气洁净打入洁净室中。

2、为保持温度与湿度的恒定，必须搭配大型空调设备，鼓风机加压多久，冷气空调开多久。
3、所有气流方向均由上往下为主，使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5、所有人事物进出，都必须经过空气吹浴除尘的程序。
6、人员穿戴无尘衣，除了眼睛部位外，均需与外界隔绝接触(。
7、水的使用也只能用去离子水。防止水中粉粒污染晶圆，防止水中金属离子，影响半导体组件的工作特性。

用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重净化。

去离子水是最佳的溶剂与清洁剂，其在半导体工业之使用量极为惊人！

8、洁净室所用气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气(98)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8以上的高纯氮！