中国首台先进封装光刻机交付!

22-04-21 14:25:50 来源:国际在线

上海微电子首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户 2月7日,上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式,这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。 



SMEE发布的先进封装光刻机(图片来源:官网)


据中国证券网2月7日报道,2021年9月18日,上海微电子举行的新产品发布会上,宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。上海微电子曾表示,当时已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议,首台将于年内交付。


先进封装光刻机是上海微电子目前的主打产品,全球市场占有率连续多年排名第一。此次发运的产品是新一代的先进封装光刻机,主要应用于高端数据中心高性能计算(HPC)和高端AI芯片等高密度异构集成领域,可满足2.5D/3D超大芯片尺寸的先封装应用需求,代表了行业同类产品的最高水平。


此前,上海微电子举行了新产品发布会,宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。据悉,发布会推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点,可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用,满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求,同时将助力封装测试厂商提升工艺水平、开拓新的工艺,在封装测试领域共同为中国集成电路产业的发展作出更多贡献。